Данный сайт о физике, физическом факультете ХНУ им. Каразина, бывшем ХГУ им.Горького, точнее его физфаке, тонких плёнках, технологии высокого вакуума.

Получение тонких плёнок.

Для получения тонких плёнок испльзуется множество разнообразных методов. Выбор конкретного зависит от требований к получаемым объектам, хотя часто ограничивается оборудованием, которое осталось от Союза.
Для получени высокочистых плёнок наиболее доступным является метод термовакуумного расспыления. Для этого подложка и испаритель помещаются в вакуумную систему, в которой осуществляется напыление. Использование вакуума позволяет получать чистые пленки, а также учитывать влияние адсорбции остаточных газов на свойства пленки. Не смотря на кажущуюся простоту этого метода, он трубует огромного технологического уровня. Например для проведения экспериментов требуется высокий вакуум, иногда сверхвысокий, для получения которых недостаточно не только механических, но часто и паромасляных насосов,а если и достаточно паромасляных, то пары масла, которые он даёт искажают эксперимент, портят манометрические лампы. Для создания такого вакуума испльзуются гетерионные насосы, охлаждаемые панели. Кроме того для прогреваемых систем необходимо испльзовать металлические прокладки, либо хотябы тефлоновые. Кроме трудностей создания высокого вакуума возникает трудность контроля толщины плёнок. Для контроля толщины плёнки используется метод кварцевого резонатора, основанного на изменении частоты кварцевого резонатора , взависимости от его массы. Плёнка напыляется и на подложку и на кварц. Другие методы получения тонких плёнок либо ещё сложнее, либо не обеспечивают нужные для научных исследований свойства.