Электрофизические вакуумные насосы

 

К электрофизическим насосам (ЭФН) обычно относят все типы насо­сов поверхностного действия, в которых для создания и активации сор­бирующих поверхностей используются электрический разряд в вакууме, резистивный и электронно-лучевой нагрев, потоки ускоренных заряженных частиц, электромагнитное излучение. Как известно эти механизмы позволили пересмотреть принципы построения вакуумных систем.

Для ЭФН характерно разнообразие физических принципов и сфер применения .

В вакуумных системах ускорителей и термоядерных установок электродные блоки электрофизических насосов встроены непосредственно в

откачиваемую камеру, дли их функционирования могут использоваться собственные электромагнитный поля установок или циркулирующие в них пучки заряженных частиц   Такая компоновка позволяет полностью использовать быстроту действия, на два-три порядка снизить остаточное давление, при атом резко уменьшается стоимость и объем вакуумной системы.

В настоящее время наибольшее распространение получили испарительные геттерноионные и распылительные геттерноионные (магниторазрядные) насосы  Сравним их характеристики)

Рассмотренным насосам свойственны недостатки в ряде случаев ограничивающие их практическое использование. От указанных недостатков свободны комбинированные насосы, обеспечивающие быстроту действия по­рядка сотен тысяч литров в секунду и более, возможность откачки сис­тем в условиях переменных потоков газа различного спектрального состава, низкое предельное остаточное давление(1,3 10 Па), достигаемое за более короткое время, материалоемкость 0,12-0,03 кг/л/с, более низкую стоимость откачки.

Селективность действия этих насосов по отношению к некоторым гл-зам, затрудняющая их применение в ряде конкретных случаев, легко устраняется комбинированным применением их различных модификаций, а также параллельным использованием ТМН или крионасоса.