< Физический факультет, тонкие плёнки, опыты домашней лаборатории, физфак каразина Данный сайт о физике, физическом факультете ХНУ им. Каразина, бывшем ХГУ им.Горького, точнее его физфаке, тонких плёнках, технологии высокого вакуума.
Опыты в домашней лаборатории Тонкие плёнки На главную

Тонкие плёнки1

На главную

Размерный эффект Методы получения тонких плёнок

Методы получения высокого вакуума

Методы контроля вакуума

Контроль осаждения плёнки, кварцевый резонатор

Диффузионные насосы

Криогенные насосы

Криосорбционные насосы

Сублимационные насосы

Гетерноионные насосы

111

Насколько опасен мономолекулярный слой?

Известно о влиянии включений газовых молекул в металлических пленках на оптические постоянные металлов и их зависимости от темпа испарения. В тех случаях, когда допустимы очень быстрые темпы испарения, по-видимому, включение молекул остаточных газов в пленку можно свести к минимуму. Несколько труднее защитить покрываемые подложки от образования на них мономолекулярного слоя адсорбированного газа, поскольку даже при вакууме порядка 10^-6 мм рт. ст. для обра¬зования монослоя достаточно нескольких секунд. На первый взгляд кажется, что образование мономолекулярного слоя адсорбированного газа на поверхности подложки не должно представлять особой опасности, так как расстояние между поверхностями подложки и наносимой пленки остается на уровне межмолекулярных расстояний. Увеличение же числа слоев, очевидно, уже может играть существенную роль. С целью проверки поведения слоя адсорбированного газа при взаимодействии со светом нами был поставлен следующий эксперимент. Поверхность импульсных ламп типа ИФК-300, ИФК-2000 и ИФП-2000 покрывалась металлическими непрозрач¬ными слоями серебра, золота и алюминия, либо термическим испарением в высоком вакууме, либо химически, либо газоструй¬ным методом. Каким бы методом колбу не покрывали, вспышка лампы даже на неполную мощность всегда приводила к механи¬ческому отбрасыванию металлической пленки. Причем скорее всего отслаивались участки, имеющие малую толщину и, следо¬вательно, малую механическую' прочность. Более толстые слои, подкрепленные сверху алюминиевой краской, работали удов¬летворительно. Лишь максимально допустимые для лампы энер¬гии иногда приводили к отслаиванию покрытия. Однако отсюда еще не следует, что отслаивание пленок является результатом наличия мономолекулярного, но не полимоле¬кулярного -слоя газа. Чтобы окончательно убедиться в этом, мы брали кусок листа слюды класса мусковитов и облучали его мощным импульсом лампы ИФП-2000. Слюда была выбрана по¬тому, что для нее известны состав адсорбированного между слоями газа (80% НэО, 10% Н2 и СО и 3% С03) и общее количество молекул на единицу площади. Оказалось, что число молекул воды в единице площади (составляет около 10й l/см2, т. е. столько, сколько нужно для образования мономолекулярного слоя. Облучение слюды одной вспышкой лампы привело к отслаиванию нескольких слоев слюды. По-видимому, мощное коротко¬волновое излучение, испускаемое лампой, приводит к фотоличе-скому отрыву адсорбированных молекул, давление которых до¬статочно для механического отрыва слоев слюды. Этим можно объяснить и отслаивание металлических пленок с колбы ламп. Эксперимент с облучением слюды показывает, что мономолекулярный слой, оказавшийся замурованным между подложкой и пленкой или между соседними слоями системы тонких пленок, является далеко не безобидным. Отсюда как следствие вытекает, что мощные световые импульсы ламп, помещенных в рабочем объеме вакуумных систем, могут быть использованы как инициаторы вынужденной десорб¬ции газов. Из изложенного выше может казаться, что учет чрезмерно частых столкновений молекул остаточных газов с поверхностью системы имеет смысл лишь при операциях с получением тонких пленок путем термического испарения, а при других случаях использования вакуумной техники особого значения не имеет. К сожалению, это далеко не так. Материал взят из "Вакуумная техника сборник под редакцией А.А. Абецадарский"