| Опыты в домашней лаборатории | Тонкие плёнки | На главную |
|
Методы получения тонких плёнок Насколько опасен мономолекулярный слой Контроль осаждения плёнки, кварцевый резонатор 111 |
Методы получения вакуума.Как описано в разделе методы получения тонких плёнок, для напыления тонких плёнок требуется высокий, либо сверхвысокий вакуум. Создание такого вакуума является сложной технической задачей. Очевидно, что обыкновенные механические насосы, не годятся для этой цели, однако они испльзуются для создания форвакуума. На рассмотрении механических насосов не будем останавливаться перейдём к высоковакуумным. Первыми рассмотримпаромасленные нассосы, парортутные уже мало используются. Их действие основанно на увлечении потоком газа молекул газа. Они имеют нагреватель, сосуд с жидкостью, заканчивающийся форсункой, систему конденсации и возврата масла в систему. После предварительной откачки форвакуумным насосом, нагревается масло, при этом оно закипает возникает поток паров масла, который увлекает молекулы остаточных газов.Эти насосы обладают высоким быстродействием достаточно просты, однако для хорошой откачки требуют жидкий азот, для охлаждения, полученный вакуум является загрязненным маслом, манометрические лампы быстро портятся.Гетерионные насосынасосы данного типа основаны на том, что свеженапыленная плёнка титана обладает свойством абсорбировать попадающие на неё молекулы газа. Создание свеженапыленной плёнки-особый вопрос, например в НОРДах это вопрос решается: в поле мощных магнитов помещаются электроды, на которые подаётся высокое напряжение, ионизированные молекулы двигаясь в скрещенных электрическом и магнытном полях, по спирали, ионизируют другие молекулы, приобретают энергию и попадая в тетановый электрод застряют в нём и распыляют его, создавая свеженапыленную плёнку титана. Такие насосы используются хорошо, они безмаслянные, высоковакуумные. Кроме того существуют насосы основанные вымораживающих поверхностях, абсорбации, охлаждении абосрбента. Все высоковакуумные насосы требуют предварительной откачки форвакуумным насосом, с ловушками. |