Опыты в домашней лаборатории Тонкие плёнки На главную Материалы испарителей

Тонкие плёнки1

На главную

Размерный эффект Методы получения тонких плёнок

Методы получения высокого вакуума

Методы контроля вакуума

Насколько опасен мономолекулярный слой

Контроль осаждения плёнки, кварцевый резонатор.

Диффузионные насосы

Криогенные насосы

Криосорбционные насосы

Сублимационные насосы

Гетерноионные насосы

111

О принципах вакуумных систем

1. О ПРИНЦИПАХ ВЫБОРА ВАКУУМНОГО ОБОРУДОВАНИЯ

 

Создание вакуумных систем для реализации технологических про­цессов в условиях вакуума связано с принципами выбора оптимального состава соответствующей вакуумной откачной системы, включающей не только основные средства откачки, но также и вспомогательное обору­дование, вакуумную арматуру, систему трубопроводов, средства измере­ний и т. п.

Основным элементом в таких системах являются средства откач­ки. Подбор средств откачки определяется многими факторами: с одной стороны, характеристиками технологического процесса и влиянием само­го технологического процесса на вакуумное оборудование ,а с другой -влиянием используемых средств откачки на технологический процесс и качество получаемого продукта. Исходя из этого, необходимо провести по возможности полный анализ технологического процесса, требований к целевому продукту, эксплуатационных характеристик откачного оборудо­вания с целью выделения основных факторов, воздействующих на средст­ва откачки, технологический процесс и конечный продукт.

В качестве примеров такого воздействия можно привести следующие а) образование в вакуумной камере при проведении технологического процесса газовой среды, которая может содержать токсичные, горючие, взрывоопасные, канцерогенные, радиоактивные и вызывающие коррозию газы, влияющиее только на конструкционные, уплотнительные и сма­зочные материалы, рабочие тела откачного оборудования, но и на бе­зопасность проведения работ и здоровье обслуживающего персонала (к таким процессам относятся плазменное травление, плазменное распыле­ние, ионное осаждение и т.п.); б) образование в ходе технологичес­кого процесса микроскопических твердых частиц, приводящих к поломке механических вакуумных насосов; в) радиоактивное облучение, влияющее на работоспособность оборудования; гыделение больших количеств во­дяного пара, затрудняющих (или даже приводящих к срыву) работу неко­торых вакуумных насосов; д) высокая (или низкая) температура прове­дения технологического процесса, влияющая на характеристики насоса и

свойства материалов; е) циклическое изменение давления в вакуумной камере, что может привести к прорыву работы и выходу из строя вакуум­ного насоса; ж) возникновение в насосе магнитного поля, которое мо­жет привести к нарушениям в технологическом процессе и снижение ка­чества продукта; з) проникновение частиц вакуумных рабочих жидкостей и других частиц из вакуумных насосов в вакуумную камеру и осаждение этих молекул как на технологическом оборудовании, так и на продукте; и) так называемая "память" вакуумного насоса по газам, то есть нали­чие в насосе газов, не участвующих в данном технологическом процес­се, а оставшихся там от предыдущих циклов работы, что может привести к нежелательным последствиям, если эти газы прореагирует с газами данного процесса.

Сказанное выше показывает первоочередность учета при выборе от­качного оборудования факторов, Бездействующих на технологический процесс. Далее, исключив типы вакуумных насосов, не пригодных для данного технологического процесса, можно переходить к проектировании вакуумной системы, исходя из эксплуатационных характеристик откачно­го оборудования  Эта вторая задача является не менее сложной и не менее ответственной.

Основными критериями вакуумной системы, определяющими получение качественного продукта с разумной себестоимость, как отмечалось ав­торами /13,14/, могут служить: а) способность вакуумной системы до­стигать требуемого давления за определенное время и поддерживать это рабочее давление; 0) надежность вакуумной системы в работе и возможность безостановочной работы в течение требуемого времени;

в)         возможность автоматического управления всей вакуумной установкой;

г)         гибкость, те   возможность использования вакуумной установки

в разных условиях, д) способность вакуумного насоса выдерживать ава­рийный прорыв атмосферного воздуха внутрь вакуумной системы.

Исходя из этих критериев, можно определить требования, предлагаемые к откачной системе проектируемой вакуумной установки   Для до­стижения рабочею давлении в течение заданного времени необходимо подобрать: а) быстроту действия вакуумного насоса; б) быстроту действия насоса предварительного разряжения И форвакуумного насоса; в) время, требуемое для достижения давления (запуска высоковакуум­ного насоса.

При поддержании рабочего давления несводимо иметь в виду

следующие факторы: а) газовыделение элементов вакуумной системы, б) натекание атмосферного воздуха внутрь вакуумной камеры, в) селектив­ность откачки высоковакуумного насоса, г) величину обратного потока из вакуумного насоса•, д) упругость паров веществ, участвующих в тех­нологическом процессе; е) степень сжатия высоковакуумного насоса.

Надежность работы вакуумной установки определяют безотказность и долговечность ее работы, а также ее ремонтопригодность. Это означа­ет возможность: а) защиты технологического процесса и вакуумной сис­темы при отключении энергии и охлаждающей воды; б) свободного досту­па ко всем частям установки; в) быстрого проведения ремонта непосре­дственно на месте.

Говоря о получении продукта, необходимо учесть издержки на его производство, зависящие от выбора определенной системы откачки. Здесь имеет значение: а) количество параллельно работающих вакуумных насосов; б) количество последовательно соединенных насосов; в) затра­ты на монтаж оборудования; г) средний ресурс насосов; д) время цикла технологического процесса; е) время регенерации; ж) затраты на элек­троэнергию, охлаждающую воду, хладагенты; з) затраты на вспомогатель­ное оборудование (защита от шума, вибрации, монтаж охлаждения) и вспомогательные материалы; и) затраты на обслуживание оборудования.

Обычно, говоря о выборе откачного оборудования для проведения технологического процесса, имеют в виду только высоковакуумные и сверхвысоковакуумные насосы, игнорируя насосы низкого и среднего вакуума.

В химической, пищевой, электротехнической промышленности боль­шое место занимают процессы, проводимые при низком и среднем вакуу­ме: сушка, фильтрование, перегонка, пропитка продуктов. Все они связаны о выделением больших количеств парсд, квторые необходимо удалить вакуумным насосом. Наиболее подходящими для этих целей явля­ются водоструйные, жидкостно-кольцевые насоси, использующиеся для со­здания вакуума определенные жидкости (чаще всего воду), а также пароэжекторные насосы, где рабочим телом является пар (чаще всего во­дяной) .