| Опыты в домашней лаборатории | Тонкие плёнки | На главную | Материалы испарителей |
|
Размерный эффект Методы получения тонких плёнок Методы получения высокого вакуума Насколько опасен мономолекулярный слой Контроль осаждения плёнки, кварцевый резонатор. 111 |
1. О ПРИНЦИПАХ ВЫБОРА ВАКУУМНОГО ОБОРУДОВАНИЯ Создание вакуумных систем для реализации технологических процессов в условиях вакуума связано с принципами выбора оптимального состава соответствующей вакуумной откачной системы, включающей не только основные средства откачки, но также и вспомогательное оборудование, вакуумную арматуру, систему трубопроводов, средства измерений и т. п. Основным элементом в таких системах являются средства откачки. Подбор средств откачки определяется многими факторами: с одной стороны, характеристиками технологического процесса и влиянием самого технологического процесса на вакуумное оборудование ,а с другой -влиянием используемых средств откачки на технологический процесс и качество получаемого продукта. Исходя из этого, необходимо провести по возможности полный анализ технологического процесса, требований к целевому продукту, эксплуатационных характеристик откачного оборудования с целью выделения основных факторов, воздействующих на средства откачки, технологический процесс и конечный продукт. В качестве примеров такого воздействия можно привести следующие а) образование в вакуумной камере при проведении технологического процесса газовой среды, которая может содержать токсичные, горючие, взрывоопасные, канцерогенные, радиоактивные и вызывающие коррозию газы, влияющие.не только на конструкционные, уплотнительные и смазочные материалы, рабочие тела откачного оборудования, но и на безопасность проведения работ и здоровье обслуживающего персонала (к таким процессам относятся плазменное травление, плазменное распыление, ионное осаждение и т.п.); б) образование в ходе технологического процесса микроскопических твердых частиц, приводящих к поломке механических вакуумных насосов; в) радиоактивное облучение, влияющее на работоспособность оборудования; г)выделение больших количеств водяного пара, затрудняющих (или даже приводящих к срыву) работу некоторых вакуумных насосов; д) высокая (или низкая) температура проведения технологического процесса, влияющая на характеристики насоса и свойства материалов; е) циклическое изменение давления в вакуумной камере, что может привести к прорыву работы и выходу из строя вакуумного насоса; ж) возникновение в насосе магнитного поля, которое может привести к нарушениям в технологическом процессе и снижение качества продукта; з) проникновение частиц вакуумных рабочих жидкостей и других частиц из вакуумных насосов в вакуумную камеру и осаждение этих молекул как на технологическом оборудовании, так и на продукте; и) так называемая "память" вакуумного насоса по газам, то есть наличие в насосе газов, не участвующих в данном технологическом процессе, а оставшихся там от предыдущих циклов работы, что может привести к нежелательным последствиям, если эти газы прореагирует с газами данного процесса. Сказанное выше показывает первоочередность учета при выборе откачного оборудования факторов, Бездействующих на технологический процесс. Далее, исключив типы вакуумных насосов, не пригодных для данного технологического процесса, можно переходить к проектировании вакуумной системы, исходя из эксплуатационных характеристик откачного оборудования Эта вторая задача является не менее сложной и не менее ответственной. Основными критериями вакуумной системы, определяющими получение качественного продукта с разумной себестоимость, как отмечалось авторами /13,14/, могут служить: а) способность вакуумной системы достигать требуемого давления за определенное время и поддерживать это рабочее давление; 0) надежность вакуумной системы в работе и возможность безостановочной работы в течение требуемого времени; в) возможность автоматического управления всей вакуумной установкой; г) гибкость, те возможность использования вакуумной установки в разных условиях, д) способность вакуумного насоса выдерживать аварийный прорыв атмосферного воздуха внутрь вакуумной системы. Исходя из этих критериев, можно определить требования, предлагаемые к откачной системе проектируемой вакуумной установки Для достижения рабочею давлении в течение заданного времени необходимо подобрать: а) быстроту действия вакуумного насоса; б) быстроту действия насоса предварительного разряжения И форвакуумного насоса; в) время, требуемое для достижения давления (запуска высоковакуумного насоса. При поддержании рабочего давления несводимо иметь в виду следующие факторы: а) газовыделение элементов вакуумной системы, б) натекание атмосферного воздуха внутрь вакуумной камеры, в) селективность откачки высоковакуумного насоса, г) величину обратного потока из вакуумного насоса•, д) упругость паров веществ, участвующих в технологическом процессе; е) степень сжатия высоковакуумного насоса. Надежность работы вакуумной установки определяют безотказность и долговечность ее работы, а также ее ремонтопригодность. Это означает возможность: а) защиты технологического процесса и вакуумной системы при отключении энергии и охлаждающей воды; б) свободного доступа ко всем частям установки; в) быстрого проведения ремонта непосредственно на месте. Говоря о получении продукта, необходимо учесть издержки на его производство, зависящие от выбора определенной системы откачки. Здесь имеет значение: а) количество параллельно работающих вакуумных насосов; б) количество последовательно соединенных насосов; в) затраты на монтаж оборудования; г) средний ресурс насосов; д) время цикла технологического процесса; е) время регенерации; ж) затраты на электроэнергию, охлаждающую воду, хладагенты; з) затраты на вспомогательное оборудование (защита от шума, вибрации, монтаж охлаждения) и вспомогательные материалы; и) затраты на обслуживание оборудования. Обычно, говоря о выборе откачного оборудования для проведения технологического процесса, имеют в виду только высоковакуумные и сверхвысоковакуумные насосы, игнорируя насосы низкого и среднего вакуума. В химической, пищевой, электротехнической промышленности большое место занимают процессы, проводимые при низком и среднем вакууме: сушка, фильтрование, перегонка, пропитка продуктов. Все они связаны о выделением больших количеств парсд, квторые необходимо удалить вакуумным насосом. Наиболее подходящими для этих целей являются водоструйные, жидкостно-кольцевые насоси, использующиеся для создания вакуума определенные жидкости (чаще всего воду), а также пароэжекторные насосы, где рабочим телом является пар (чаще всего водяной) . |