Данный сайт о физике, физическом факультете ХНУ им. Каразина, бывшем ХГУ им.Горького, точнее его физфаке, тонких плёнках, технологии высокого вакуума.

Методы контроля вакуума.

Для измерения давления используются манометры. Издавна известен
ртутный манометр
, созданный Торричери, и в последствии получивший множество модификаций. Некоторые из них испльзуются для контроля разряжения, однако для контроля вакуума их использование ограниченно во первых давлением насышенных паров ртути, а во вторых тем, что давление запуска высоковакуумных насосом составляет 10^-3 мм ртутного столба, измерение столь малых изменений уровня ртути- сами понимаете, в литературе описаны некоторые типы таких манометров, для контроля форвакуума. Для контроля вакуума используются два основных типа манометров-термопарные и ионизиционные.
Термопарные манометрические лампы
основаны на том, что если через проволку пропустить ток она нагреется. Температура проволки будет зависить от многих факторов, среди которых давление окружающего газа. Если проволка нагревается постоянным током, то благодаря этому по температуре проволки можно установить давление газа в системе.
Ионизационные манометрические лампы.
Данные манометрические лампы основаны на зависимости ионизационного тока, тока , возникающего между электродами от давления. Лампы данных типов, дают возможность что-то сказать о вакууме в системе.