Испаряемое вещество и молекуляр­ный состав паров

Температура,

 °С

Материал испарителя

Примечания

точки плавления

При Р=10-2 мм.рт.ст.

проволо­ка, фоль­га

тигель

Алюминий

(А1)

659

1220

W

С, BN, TiB,

 —BN

Легко смачивает все ма­териалы и имеет тенденцию передвигаться по испарите­лю. Образует сплавы с WC и реагирует с С. Предпочти­тельно использовать тигли из нитридов

Cypьмa

(Sb<r Sb),

630

530

Мо,

Та, Ni

Окислы,

BN,

металлы, С

Пар содержит молекулы из нескольких атомов. а„ = 0,2. Требует температу­ры выше точки плавления Токсична

Мышьяк

(As., As,)

820

~300

—

Окислы,С

Пар содержит молекулы из нескольких атомов. av — = 5.10-5—5-Ю-2. Сублими­руется, но требует темпера­тур выше 100° С. Токсичен

Барий

(Ba)

710

610

W, Мо

, Та, N1,

Fe

Металлы

Смачивает тугоплавкие металлы без образования сплавов. Вступает в реак­цию с большинством окис­лов при повышенных темпе­ратурах

Бериллий

(Be)

1283

1230

W, Мо,

Та

С,

тугоплавкие

окислы

Смачивает тугоплавкие металлы. Токсичен Особен­но токсичен порошок

Висмут

 (Bi, Blj)

271

670

W, Мо,

 Та, N1

Окислы, С,

Металлы

Пары токсичны

Испаряемое вещество и молекуляр­ный состав паров

Температура,

Материал испарителя

Примечания

точки плавления

При Р=10-2 мм. рт. ст

проволо­ка

, фоль­га

гигель

Бор (В)

2100 +-

100

2000

—

С

Пленки бора при исполь­зовании испарителей из уг­лерода не являются чисты­ми

Кадмий (Cd)

321

265

W, Мо, Та, Fe, Ni

Окислы, металлы

Конденсация пленок тре­бует большого перенасыще­ния. Сублимируется. Осаж­дение Cd на стенки приво­дит в негодность вакуум­ную систему

Кальций (Са)

850

600

W

А1203

Углерод

(С8, Ci, Сг)

~3700

~2600

Испарение с помощью ду­ги между стержнями из уг­лерода или при электронно­лучевом испарении. а„<1

Хром (Сг)

-1900

1400

W, Та

Высокие скорости испаре­ния без расплавления. Пред­почтительным является суб­лимация при радиационном нагреве стержней. Электро-осажденный Сг вероятно выделяет водород

Кобальт (Со)

1495

1520

W

А1203,

ВеО

Образует сплав с W. Для уменьшения разрушения за­грузка по весу не должна быть более 30% веса нити испарителя. Возможна суб­лимация с малой скоростью

Испаряемое вещество и молекулярный состав паров

Температура, °С

Материал испарителя

Примечания

Точка плавления  

При

Р= 10-2 мм.рт.ст.

проволо­ка, фоль­га

тигель

Медь (Си)

1084

1260

W, Мо, Та

Мо, С, Al2Os

Практически не взаимо­действует с тугоплавкими материалами. Предпочти­тельным материалом для тиглей является Мо, так как он может обрабатываться механически и хорошо про­водит тепло

Галлий (Ga)

30

1130

—

ВеО, А1203

Образует сплавы с туго­плавкими металлами. Окис­лы подвергаются воздейст­вию при температуре выше 1000° С

Германий (Ge)

940

1400

W, Мо, Та

W, С, А120

Смачивает тугоплавкие металлы, но растворимость в W плохая. Наиболее чи­стые пленки получаются при электронно-лучевом испаре­нии

Золото (Аи)

1063

1400

W, Мо

Мо, С

Реагирует с Та, смачивает W и Мо. Тигли из Мо вы» держивают несколько про­цессов испарения

Индий (In)

156

950

W, Мо

Мо, С

Предпочтительны лодочки из Мо

Железо (Fe)

1536

1480

W

ВеО, А1203, ZrOa

Образует сплавы со всеми тугоплавкими     металлами. Загрузка по весу не должна быть более 30% веса  нити испарителя для уменьшения разрушения. Возможна суб­лимация с малой скоростью

Испаряемое

Температура, °С

Материал испарителя

вещество и молекуляр­ный состав паров

точки плавления

При Р=10-2 мм.рт.ст

.

проволо­ка, фоль­га

тигель

Примечания

Свинец (РЬ)

328

715

W, Мо, Ni. Fe

Металлы

Не смачивает тугоплавкие металлы. Токсичен

Магний-(Mg)

650

440

W, Мо, Та, Ni

Fe, С

Сублимирует

Марганец (Мп)

1244

940

W, Мо, Та

А12Оэ

Смачивает тугоплавкие металлы

Молибден (Мо)

2620

2530

—

Малые скорости сублима­ции из Мо фольги. Предпоч­тительным является элект-роино-лучевое испарение

Никель (N1)

1450

1530

W, W фольга, покрытая Al2Og

Туго­плавкие окислы

Образует сплавы с туго­плавкими металлами, следо­вательно загрузка должна быть ограничена. Малые скорости сублимации из Ni фольги' или проволоки. Предпочтительным является электронно-лучевое испаре­ние

Палладий (W)

1550

1460

W, W фольга, покрытая Al2Os

А1г08

Образует сплавы с туго­плавкими металлами. Воз­можна сублимация с малой скоростью

Платина (Pt)

1770

2100

W

Th02, ZrOa

Образует сплавы с туго­плавкими металлами. Ис­пользование многонитевой проволоки сокращает время испарения. Предпочтительно электроннолучевое испаре­ние